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エネルギー分散型X線分光解析(EDS)

試料の表面観察や断面観察に使用。表面構造を観察しやすく、立体的な画像が得られます。

ホーム事業内容信頼性評価エネルギー分散型X線分光解析(EDS)

エネルギー分散型X線分光解析(EDS)

EDS(エネルギー分散型X線分光解析)は、『energy dispersive pectrometry』の略でSEMに検出器が付加されています。試料の観察領域からX線を検出し、構成する元素を特定します。 特定した元素の量(定量的)を知ることが数%まで測定できます。また、元素の分布像(Xマッピング像) が得られ、さらに元素の線分析(X線ラインスキャン分析)を得ることができます。

  • 定性分析:検出された元素の特定ができます。
  • Mapping:観察視野の中で、元素の分布を分析します。
  • Line scan:任意の線上における元素強度を分析します。
  • 定量分析:数%までの元素の量を定量的に測定できます。

お見積りをご希望のお客様

  1. 名称、カテゴリー、サイズ、重量等、供試品についての情報
  2. 評価・試験項目、規格(JISやJASOなど)など、ご希望の検査内容
  3. 繰り返し回数/期間、又は、実施回数/期間
  4. 付帯条件に関する情報(たとえば振動試験であれば、共振周波数など)
  5. 評価、試験の結果納期

お問い合わせの際は、上記の項目を記載いただけますようお願いいたします。
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