エネルギー分散型X線分光解析(EDS)

エネルギー分散型X線分光解析(EDS)

EDS（エネルギー分散型X線分光解析）は、『energy dispersive pectrometry』の略でSEMに検出器が付加されています。試料の観察領域からX線を検出し、構成する元素を特定します。 特定した元素の量（定量的）を知ることが数％まで測定できます。また、元素の分布像（Xマッピング像） が得られ、さらに元素の線分析（X線ラインスキャン分析）を得ることができます。

• 定性分析：検出された元素の特定ができます。
• Mapping：観察視野の中で、元素の分布を分析します。
• Line scan：任意の線上における元素強度を分析します。
• 定量分析：数％までの元素の量を定量的に測定できます。

お見積りをご希望のお客様

1. 名称、カテゴリー、サイズ、重量等、供試品についての情報
2. 評価・試験項目、規格（JISやJASOなど）など、ご希望の検査内容
3. 繰り返し回数／期間、又は、実施回数／期間
4. 付帯条件に関する情報（たとえば振動試験であれば、共振周波数など）
5. 評価、試験の結果納期

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